I et scanning eletron mikroskop (SEM) passerer en elektronstråle, som er mindre enn området som skal avbildes, over prøvematerialet i et regulært mønster, og et bilde av prøveoverflaten blir rekonstruert på et videorør. Bildekontraster skapes ved interaksjon mellom strålen og prøveoverflaten. Dette produserer forskjellige intensiteter av tilbakespredte og sekundært utløste elektroner for hver posisjon av scanningen, og disse blir registrert av en detektor plassert passende nær prøvematerialet. Signaler fra røntgenstråler, fluorescerende materiale, og andre fenomen kan også utnyttes.
Photo:
Norsk Teknisk Museum